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FM311 系列气体质量流量计 返回

-灵敏度高，有较小的始动流量；

-传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，

  保证了流量计的高精度计量；

-在单个芯片上实现了多传感器集成，

 使其量程比达到了100:1甚至更高；

-各种连接方式，易于安装与使用；

-输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据

 或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压；



概述

FM311 系列气体质量流量计是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列流量计均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对流量计的灵活配置与参数查询。FM311具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。

数据资料

FM311 气体质量流量计.pdf
2022-10-13
2.05MB

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